实验室建设
国家工程研究中心工艺类设备

真空感应化学气相沉积炉

2024-10-11

简介:型号为ZGCJ-160-12B,额定功率160kW,最高温度为1500°℃,主要组成部分有炉体、感应加热器、气体控制系统和电控集成控制系统,真空系统、循环水冷系统等。

功能特点:

中频感应加热:利用中频感应原理加热石墨坩埚,加热方式简单可靠,适用于频繁起动或长时间运行的工作场合。

串联谐振电路:负责由感应线圈和中频电热容器组成,运行稳定可靠,具有较强的负载适用性。

真空或保护气氛瞎操作:在真空或特定的保护气氛下进行,有助于制备高质量复合材料,提高耐磨性。

度立沉积室设计:沉积室与真空室独立,减少沉积气体 浪费,便于控制沉积室内气体压力和密度。

多功能应用:适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料,也可用作硬质合金制品的烧结及高温石墨化设备。