仪器用途
材料表面元素定性及半定量分析：元素价态及价带分析；通过氩离子刻蚀可对样品进行深度剖析，并分析刻蚀过程中材料性质的线性变化。
技术指标
●分析器—180°双聚集半球分析器-128通道检测器
● X射线源—铝Ka微聚集单色器-可获取的光斑大小（5微米步长30至400微米）
●离子枪—能量范围100至4000eV
●电荷中和—又束流-超低能量电子束
●样品安装—四轴样品台-60 x60毫米样品区域-最大样品厚度20毫米
●真空系统—2个220l/s涡轮分子泵用于进样室和分析室–自动开机，3灯丝TSP
●数据系统—Avantage数据系统–过程许可–计算机
●检测范围：能够检测到所有原子序数大于等于3（锂）的元素，检测不到氢和氦
●检测深度：10nm以内
