主要功能及特色
样品微观形貌观测、不导电样品和磁性样品的高分辨成像、离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积、高质量定点TEM样品制备、高质量定点原位透射样品制备、定点APT样品制备、微观力学构件制备、样品微区成分分析、及晶粒取向分布的测定。
主要规格及技术指标：
电子束分辨率：0.9 nm@15 kV；1.6 nm@1.0kV
离子束分辨率：分辨率：3 nm@30 kV
探针电流：1 pA~65 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
主要附件及配置
能谱附件提供样品点线面等半定量的成分分析。
背散射衍射系统测定样品晶粒取向分布。
