可实现材料微区的化学组成定性和定量分析、材料微区的化学组成线分析和面分析、材料微区的高分辨二次电子像、背散射电子像观察等。配置四道谱仪，其中两道日本电子100mm罗兰圆谱仪是全聚焦型晶体，两道日本电子140mm罗兰圆谱仪是半聚焦型晶体，同时配置牛津电制冷能谱仪。
主要应用
材料学，冶金工程技术，地质，化学化工及航空航天科学技术
主要参数及技术指标
SEI分辨率：3nm @0.1nA,40nm @10nA,100nm @100nA，空间分辨率好于0.1μm，加速电压1～30kV，束流范围0.01nA～500nA，束流稳定度≦±0.3%/h，图像放大倍率40～300000倍，电子束位移≦1μm/h。分析元素范围5B～92U，分析精度：优于1%（主元素，含量大于5%）和5%（次要元素，含量约为1%），X射线出射角为40度。谱仪稳定性：记数率的重复性（给定波长位置）优于0.5%，峰位置重复性（同一分光晶体）优于0.5%，峰位置重复性（交换分光晶体后）优于1.5%，
