用途：主要测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在800℃以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专利UNHT3技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。
主要特点
1.环境条件下最低热漂移(< 0.5 nm/min)和整个温度范围内最低热漂移(< 3 nm/min)。
2.最高载荷框架刚度(>>106 N/m)和最低框架柔度(<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。
3.高真空系统具有5轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至最低。
4.独特的加热控制系统（3项专利待批），采用3个红外(IR)加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及4个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1℃内。
