压痕测试仪(UNHT+MCT)能够测量软基、硬基、脆性、延展性等几乎所有类型材料的硬度以及弹性模量等性质。其中UNHT载荷范围25uN-50mN,热漂移0.008nm/sec可实现小尺寸测量,MCT载荷范围50mN-30N可实现大尺寸测量。划痕测试仪器(MST)载荷范围30mN-30N ,专门用于定量测定薄膜材料的机械性质,如膜基结合临界载荷、涂层失效形式以及基体变形尺度等。